FXD1-1-STST-FWS采用单片PTFE隔膜设计(厚度0.5mm,抗拉强度30MPa),通过机械驱动曲轴机构(偏心距可调±5%)实现脉动流量控制(精度±2%),最大输出压力1.2MPa,适用于高腐蚀性介质如氢氟酸(渗透率<0.01g/m2·h)。其专利“STST双密封结构”将动态密封寿命提升至8,000小时(ASTM D4165测试标准),同时支持干运转30分钟无损伤。
驱动系统搭载无刷直流电机(IP67防护,能效IE4级),配合自适应PID算法将功耗降低15%(对比上一代FXC系列)。流量范围0.1-50L/min可通过触控面板实时调节(响应时间0.2秒),内置的膜片断裂传感器(灵敏度0.1mm裂纹)能触发紧急停机。该型号通过FDA 21 CFR认证,已用于半导体湿法刻蚀设备的药液输送。
结构优化方面,泵体采用超轻量化钛合金框架(重量仅3.2kg),流道经电解抛光处理(Ra≤0.8μm)。快拆式模块设计允许更换膜片无需专用工具(操作时间<3分钟),进出口法兰符合ISO 2858标准。可选配的防爆版本(ATEX II 2G Ex db IIC T6)适用于石化行业催化剂注入场景。
2025年新增的物联网功能支持4G远程监控(数据更新间隔10秒),可预测膜片剩余寿命(误差±5%)。下一代原型机正在测试磁悬浮驱动技术(振动降低90%),预计2027年量产。目前该泵已部署于韩国三星电子第三代芯片产线,连续运行18个月无计划外维护记录。
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